物理干擾：因為樣品首先進行霧化，粘度不一樣，霧化效率不一樣，形成氣溶膠效率不一樣，到達中心管的速度不一樣，從而引起強度值的變化。1% 的硝酸和5%的硫酸通過相同的條件進行霧化，出來的液滴大小不一樣，這是由于樣品物理性質的干擾對測定造成的影響。
消除：首先保證載氣流量的穩定，采用復配方式測定，配標液可用到異辛烷；基體大致相同；基體校正系數法，用的較少；標準加入法；內標法，加內標元素進去，讓它時時監控霧化效率和傳出效率，如果有改變，可按照系數計算。
光譜干擾：是最常見的干擾，跟試樣類型有關，在軟件中可以看出來有沒有光譜干擾。
消除方法：雙邊校正背景方式，通過調節兩個背景點的位置和像素點來消除干擾；若干擾很嚴重可用 MSF模型。IEC用的很少。