1.有較高的電離和分解程度
2.電子溫度和離子溫度對中性氣體溫度之比非常高，運載氣體保持合適的溫度。這個特性，在氣相沉積的情況下，可使基底的溫度不會過高。
3.能在高氣壓下維持等離子體。
4.沒有內部電極，在等離子容器內，沒有工作氣體以外的任何物質，是潔凈的，無污染源。等離子發生器可以保持長壽命。
5.等離子可以采用磁約束的方法，約束在約定的空間內，微波結和磁路可以兼容。
6.安全因素高。高壓源和等離子體發生器互相隔離，這是直流等離子體不能達到的。微波泄漏小，容易達到輻射安全標準。這是高頻感應等離子體難以達到的。
7.微波發生器是穩定的，易控的。
8.微波等離子體，在許多情況下是一種比較寧靜的等離子體，不象直流放電那樣伴隨很高的噪聲級。