掃描電子顯微鏡功能

1、掃描電子顯微鏡追求固體物質高分辨的形貌，形態圖像(二次電子探測器SEI)-形貌分析(表面幾何形態，形狀，尺寸)

　　2、顯示化學成分的空間變化，基于化學成分的相鑒定---化學成分像分布，微區化學成分分析

　　1)用x射線能譜儀或波譜(EDSorWDS)采集特征x射線信號，生成與樣品形貌相對應的，元素面分布圖或者進行定點化學成分定性定量分析，相鑒定。

　　2)利用背散射電子BSE)基于平均原子序數(一般和相對密度相關)反差，生成化學成分相的分布圖像；

　　3)利用陰極熒光，基于某些痕量元素(如過渡金屬元素，稀土元素等)受電子束激發的光強反差，生成的痕量元素分布圖像。

　　4)利用樣品電流，基于平均原子序數反差，生成的化學成分相的分布圖像，該圖像與背散射電子圖像亮暗相反。

　　5)利用俄歇電子，對樣品物質表面1nm表層進行化學元素分布的定性定理分析，

　　3、在半導體器件(IC)研究中的特殊應用：

　　1)利用電子束感生電流EBIC進行成像，可以用來進行集成電路中pn結的定位和損傷研究

　　2)利用樣品電流成像，結果可顯示電路中金屬層的開、短路，因此電阻襯度像經常用來檢查金屬布線層、多晶連線層、金屬到硅的測試圖形和薄膜電阻的導電形式。

　　3)利用二次電子電位反差像，反映了樣品表面的電位，從它上面可以看出樣品表面各處電位的高低及分布情況，特別是對于器件的隱開路或隱短路部位的確定尤為方便。

　　4、利用背散射電子衍射信號對樣品物質進行晶體結構(原子在晶體中的排列方式)，晶體取向分布分析，基于晶體結構的相鑒定。

　　掃描電子顯微鏡對科學研究與企業生產都有巨大的作用，在新型陶瓷材料顯微分析中也有廣泛的應用。上文就是小編整理的掃描電子顯微鏡的工作原理和應用介紹，在這方面有興趣的朋友可以做進一步的深入研究。