無機質譜儀分類

無機質譜儀，包括：
①  火花源雙聚焦質譜儀。 
② 感應耦合等離子體質譜儀(ICP-MS)。  
③ 二次離子質譜儀(SIMS)
 同位素質譜儀。
 氣體分析質譜儀。主要有呼氣質譜儀，氦質譜檢漏儀等。