氯化鋰濕度計
這種濕度計的檢測元件表面有一薄層氯化鋰涂層,它能從周圍氣體中吸收水蒸汽而導電。周圍氣體相對濕度越高，氯化鋰吸水率越大，因而兩支電極間的電阻就越小。因此，通過電極的電流大小可反映出周圍氣體的相對濕度。這類濕度計在工業流程中應用很廣。
氧化鋁濕度計
它的工作原理是：氧化鋁薄膜能從周圍氣體中吸水而引起本身電容和電阻值的變化，變化的幅度用以表示周圍氣體的相對濕度。這種濕度計主要用于工業流程氣體的濕度測量，可測相對濕度范圍很寬。
