所謂的場發射掃描電鏡是指，相較于傳統的鎢燈絲光源而言，其采用更了為先進的肖脫基場發射光源。采用場發射光源后電子束能量更強，二次電子相（也就是我們平時所說的掃描照片）更加清晰，放大倍數在理想的情況下可以達到10萬倍以上。同時，在進行EBSD的測試中也具有相當的優勢。
電子探針，即EPMA, 是一種元素成分的測試手段，其基本原理是通過激發物質的本征X射線，獲取信號進行元素標定的。
單純的從功能上來講，電子探針可以看做掃描電鏡的一個功能，即能譜成分測試（EDS，EDX）。在點掃的模式下，電子探針精度更高，同時打的點更小，測試更為精準。如果是進行線掃、面掃，則沒有明顯優勢。
值得指出的是，鎢燈絲/場發射兩種掃描電鏡在EDS/EDX上區別不大，場發射電鏡沒有明顯優勢。
或者說：EPMA>場發射=鎢燈絲
總結一下，你要是想測定一小塊區域（這個大小還和操作人員有關）的精確成分，可以選用EPMA。這個設備一般也自配一個掃描電鏡（用于測試），但精度較低，沒有掃描電鏡其他功能（BSE、EBSD等）。
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