利用在電場作用下高速運動的電子轟擊物體表面，使之被加熱。進行電子束加熱的主要部件是電子束發生器，又稱電子槍。電子槍主要由陰極、聚束極、陽極、電磁透鏡和偏轉線圈等部分組成。陽極接地，陰極接負高位，聚焦束通常和陰極同電位，陰極和陽極之間形成加速電場。由陰極發射的電子，在加速電場作用下加速到很高速度,通過電磁透鏡聚焦,再經偏轉線圈控制，使電子束按一定的方向射向被加熱物體。
電子束加熱的優點是:①控制電子束的電流值Ie,可以方便而迅速地改變加熱功率；②利用電磁透鏡可以自由地變更被加熱部分或可以自由地調整電子束轟擊部分的面積；③可增加功率密度，以使被轟擊點的物質在瞬間蒸發掉。