硅化鉑探測器簡介

　　硅化鉑探測器是指利用鉑硅肖特基勢壘和內光電效應將入射的紅外輻射轉變成電信號的器件。又稱硅化鉑肖特基勢壘探測器。

　　簡介

　　硅化鉑探測器是指利用鉑硅肖特基勢壘和內光電效應將入射的紅外輻射轉變成電信號的器件。又稱硅化鉑肖特基勢壘探測器。

　　用途

　　主要用于中、短波紅外輻射的探測。

　　構造

　　它的構造和工藝原理是在P型硅材料上沉積一層厚度約2nm的鉑金屬層，金屬鉑和半導體硅之間形成肖特基勢壘。

　　原理

　　當能量小于1.1cV(硅的禁帶寬度)的光子透過硅襯底入射到硅化鉑上時，會激發出電子,部分激發電子會越過肖特基勢壘述人硅內，形成信號電荷。

　　工作環境

　　硅化鉑探測器在77K下工作、響應截止波長為5.6μm，量子效率很低僅為1%左右，常采用光學諧振腔結構提高器件的響應率。硅化鉑探測器不單個使用，常做成硅化鉑焦平面陣列。

　　現狀

　　由于制造工藝主要是硅器件工藝，且工藝成熟,所以容易做成大面陣，響應均勻性好，且成品率高，是可實用的最大紅外焦平面陣列。