FIM是1956年Erwin W. Mueller發明。由FEM(Field Emission Microscope)發展來的。FEM的樣品同樣也得作成針狀,在真空的環境中成像,不過樣品上我們加的是負的高壓,樣品達到足夠的負高壓時,會放出電子打到熒光幕產生亮點,而這個亮點代表的并非一顆原子,是樣品上一片區域,這個區域電子在同樣的負高壓作用下都會射出電子。因為電子在橫向上 (和樣品表面平行的方向) 速度分量造成繞射的情況,使得FEM的分辨率只能達到20到25埃(要看到原子分辨率至少要小于1埃)。Erwin W. Mueller做了什么事改善了分辨率呢?他加了成像氣體用正高壓使其解離成陽離子,并被加速射到屏幕,成像氣體比電子重,而且在低溫的情況下,其橫向速度分量小多了,提高了分辨率,FIM便如此產生了。在此最初的FIM之后,有人對影像明暗對比、真空情況、樣品冷卻處理等方面漸漸改善,使得其功能愈來愈良好。 [2]