質譜儀的組成：真空系統、進樣系統、離子源或電離室、質量分析器、離子檢測器。
若真空度低：大量氧會燒壞離子源的燈絲；會使本底增高，干擾質譜圖；引起額外的離子-分子反應，改變裂解模型，使質譜解釋復雜化；干擾離子源中電子束的正常調節；用作加速離子的幾千伏高壓會引起放電等。
2、進樣系統
高效重復地將樣品引入到離子源中并且不能造成真空度的降低。間歇式進樣系統——氣體及低沸點、易揮發的液體；直接探針進樣——高沸點的液體、固體；色譜進樣系統——有機化合物。
3、離子源或電離室作用是使試樣中的原子、分子電離成離子，其性能影響質譜儀的靈敏度和分辨率本領。電子電離源的特點：電離電壓：70eV；加一小磁場增加電離幾率；EI源電離效率高,碎片離子多，結構信息豐富，有標準化合物質譜庫；結構簡單，操作方便；樣品在氣態下電離，不能汽化的樣品不能分析，主要用于氣-質聯用儀；有些樣品得不到分子離子。
將離子源產生的離子按質荷比m/z的大小分開。
5、離子檢測器
法拉第杯（直接電測法）離子流直接為金屬電極所接收，并用電學方法記錄離子流大小。二次電子倍增器（二次效應電測法） 一定能量的正離子打擊陰極的表面，產生若干二次電子，然后用多級瓦片狀的二次電極(或稱打拿極)使二次電子不斷倍增，后為陽極所檢測。 二次電子倍增器的檢測極限更低。好點的質譜會同時配備這兩種檢測器。
