透射電鏡,即透射電子顯微鏡是電子顯微鏡的一種。電子顯微鏡是一種高精密度的電子光學儀器,它具有較高分辨本領和放大倍數,是觀察和研究物質微觀結構的重要工具。
電子顯微鏡是根據電子光學原理,用電子束和電子透鏡代替光束和光學透鏡,使物質的細微結構在非常高的放大倍數下成像的儀器。電子顯微鏡的分辨能力以它所能分辨的相鄰兩點的最小間距來表示。20世紀70年代,透射式電子顯微鏡的分辨率約為0.3納米(人眼的分辨本領約為0.1毫米)。現在電子顯微鏡最大放大倍率超過300萬倍,而光學顯微鏡的最大放大倍率約為2000倍,所以通過電子顯微鏡就能直接觀察到某些重金屬的原子和晶體中排列整齊的原子點陣。
1931年,德國的克諾爾和魯斯卡,用冷陰極放電電子源和三個電子透鏡改裝了一臺高壓示波器,并獲得了放大十幾倍的圖象,證實了電子顯微鏡放大成像的可能性。1932年,經過魯斯卡的改進,電子顯微鏡的分辨能力達到了50納米,約為當時光學顯微鏡分辨本領的十倍,于是電子顯微鏡開始受到人們的重視。到了二十世紀40年代,美國的希爾用消像散器補償電子透鏡的旋轉不對稱性,使電子顯微鏡的分辨本領有了新的突破,逐步達到了現代水平。在中國,1958年研制成功透射式電子顯微鏡,其分辨本領為3納米,1979年又制成分辨本領為0.3納米的大型電子顯微鏡。
電子顯微鏡的分辨本領雖已遠勝于光學顯微鏡,但電子顯微鏡因需在真空條件下工作,所以很難觀察活的生物,而且電子束的照射也會使生物樣品受到輻照損傷。其他的問題,如電子槍亮度和電子透鏡質量的提高等問題也有待繼續研究。
大型透射電鏡
大型透射電鏡(conventional TEM)一般采用80-300kV電子束加速電壓,不同型號對應不同的電子束加速電壓,其分辨率與電子束加速電壓相關,可達0.2-0.1nm,高端機型可實現原子級分辨。
低壓透射電鏡
低壓小型透射電鏡(Low-Voltage electron microscope, LVEM)采用的電子束加速電壓(5kV)遠低于大型透射電鏡。較低的加速電壓會增強電子束與樣品的作用強度,從而使圖像襯度、對比度提升,尤其適合高分子、生物等樣品;同時,低壓透射電鏡對樣品的損壞較小。
分辨率較大型電鏡低,1-2nm。由于采用低電壓,可以在一臺設備上整合透射電鏡、掃描電鏡與掃描透射電鏡[1]
冷凍電鏡
冷凍電鏡(Cryo-microscopy)通常是在普通透射電鏡上加裝樣品冷凍設備,將樣品冷卻到液氮溫度(77K),用于觀測蛋白、生物切片等對溫度敏感的樣品。通過對樣品的冷凍,可以降低電子束對樣品的損傷,減小樣品的形變,從而得到更加真實的樣品形貌。
電鏡是材料科學、生命科學、半導體工業、納米技術等領域不可或缺的分析工具。電子顯微鏡主要包括:掃描電鏡(SEM)和透射電鏡(TEM),還有一種分類把聚焦離子束(FIB-SEM)單獨分出來,但在本文的統計......
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