技術參數
采用整體爐膛, 保溫節能效果好,
控制柜及面板位于爐體下部,方便放置試驗臺上操作
溫度范圍:RT~1400℃;溫度波動度:±1.0℃溫度均勻度:≤±5.0℃
四周表面溫度:≤ 溫升50℃
可通氫氣、氧氣、氮氣、氬氣等多種氣體。
過電流保護裝置、過溫保護裝置;
注意事項
除了做實驗外,不要停留在高溫爐管區。
實驗工作完畢時,若無人繼續使用,請關特殊氣體,保留N2流動, 爐管保持在standby溫度,并查看是否有其它電源該關而沒有關,如:cleanhood燈光、煮酸用的小電爐或其它,請隨手關掉。
處理HF時,請戴手套,如不小心碰到HF時,請立刻沖水,用葡萄酸鈣加2%之水,揉擦傷處15'。
石英玻璃制品請小心使用,以免破裂,引起嚴重割傷。
避免吸入從爐子或處理槽所冒出之各種氣體。
氰化鉀(KCN)不可與酸類混置,因兩者可產生劇毒之KCN氣體。
一旦發現有妨礙安全之事物時,請立即通知有關人員(技術員等)。
請節約純水用量。
破晶片、濾紙、棉花棒.......等,請勿掉入清洗槽的底部排水孔,以免因排水不良造成地板漬水。
長短推桿之前端,在還沒使用到時,請朝上以免污染。
晶片進出爐口時,承接boat的holder,請勿碰觸爐管口,以免污染爐管。