放電管內徑小
普通縱向CO?激光器的放電管直徑一般都在5毫米以上，而CO?波導激光器的放電管直徑要小得多，一般在1～2毫米之間。
工作氣壓較高
普通縱向放電CO?激光器的放電管內徑在1厘米以上時，工作氣壓在20托左右，而對于放電管為1.5毫米左右的CO?波導激光器的工作氣壓應在300托左右。
譜線加寬、頻率可調諧范圍增加
由于波導激光器的氣壓高，譜線增益帶寬主要取決于壓力增寬，氣壓在300托時，壓力加寬寬度可達1500兆赫，比普通激光器的50兆赫提高了30倍。因此用它作調頻激光器，可調諧范圍將大大增加。例如國內生產的一種波長可調CO?波導激光器，用方孔BeO波導，尺寸為1.5×1.5×150mm，總氣壓135托，氣壓比為CO?∶N?∶He∶Xe=2∶1∶13∶1，平-凹腔，透過率為5%，用光柵調諧，諧調寬度可達470兆赫，連續輸出功率為740毫瓦。
輸出功率密度可提高
對CO?波導激光器而言，每立方厘米輸出功率可達10瓦以上，為普通CO?激光器的25倍。這有利于器件緊湊和小型化。例如有一連續波導激光器，圓形玻璃波導管，內徑為1.5毫米，放電長度195毫米，采用平凹諧振腔，在輸出鏡透過率為8%，氣壓比為CO?∶N?∶He∶Xe=1∶0.9∶3.6∶0.3條件下，最大輸出功率可達4.1瓦。又如一高頻橫向激勵的CO?波導激光器，尺寸為2×2×150mm的方孔BeO波導，在總氣壓130托，氣壓比為CO?∶N?∶He∶Xe=1∶0.3∶4.2∶0.2條件下，可得連續輸出功率2.8瓦。