區別：
1、測量對象
ICP-MS測量的是離子質譜，提供在3～250 amu范圍內每一個原子質量單位(amu)的信息，ICP-MS除了元素含量測定外，還可測量同位素。
ICP-OES測量的是光學光譜(165～800nm)
2、干擾
ICP-MS的干擾:質譜干擾、基體酸干擾、雙電荷離子干擾、基體效應、電離干擾、空間電荷效應。
ICP-OES干擾：光譜干擾、基體效應、電離干擾。
3、線性動態范圍LDR
ICP-MS具有超過105的LDR，各種方法可使其LDR開展至108，ICP-MS應用的主要領域在痕量/超痕量分析。
ICP-OES具有105以上的LDR且抗鹽份能力強，可進行痕量及主量元素的測定，ICP-OES可測定的濃度高達百分含量
4、精密度
ICP-MS的短期精密度一般是1～3% RSD，這是應用多內標法在常規工作中得到的。長期(幾個小時)精密度為小于5%RSD。
ICP-OES的短期精密度一般為0.3～2%RSD，幾個小時的長期精密度小于3%RSD。
5、樣品分析能力
ICP-MS有驚人的能力來分析大量測定痕量元素的樣品，典型的分析時間為每個樣品小于5分鐘，在某些分析情況下只需2分鐘。Consulting實驗室認為ICP-MS的主要優點即是其分析能力。
ICP-OES的分析速度取決于是采用全譜直讀型還是單道掃描型，每個樣品所需的時間為2或6分鐘，全譜直讀型較快，一般為2分鐘測定一個樣品。
ICP-AES法同時測定石油焦中的鐵、硅、鈦石油焦是一種重要的化工原料，廣泛應用于特種耐火材料的生產，鋁的冶煉等行業，其中鐵、硅、鈦等元素的含量多少直接影響產品的質量，所以準確測量這些元素的含量至關重......
鉛錫合金焊料廣泛用于重工業、輕工業、耐磨合金、大型電子電氣產品和小型家用電器等電子元件焊接方面。歐盟的關于報廢電子電氣指令（WEEE）和關于在電子電氣設備中限制使用某些有害物質指令（RoHS）相繼出臺......
測定鋅精礦中12個雜質元素稱取0.2g鋅精礦樣品加適量水潤濕，加10ml鹽酸，室溫放置約30min，加人20ml硝酸。緩慢加熱至橙清，蒸至近干，加5ml硝酸趕鹽酸二次，冷卻，以硝酸（1十9）溶解，過濾......
測定銅精礦中有害元素稱取在105oC烘干1h的試樣0.5000g置于聚四氟乙烯罐中，加人硝酸2m1,鹽酸3m1，待劇烈反應停止后，加蓋、套，置轉盤中，放人爐腔內，連好溫度（壓力）傳感器。用100%功率......
測定鉛精礦中的雜質元素稱取0.1-0.2g樣品于250mL燒杯中，加少量水潤濕，加15mL硝酸，加熱5min左右，然后加2-50mg氯酸鉀，待樣品完全溶解，再加硫酸（1+1}4mL,繼續加熱至近干，取......
測定磷礦石中主量、痕量成分稱取0.l000g于l05℃烘2h的礦樣于鉑金坩堝中，加入氫氟酸10mL和高氯1mL.，在低溫電熱板上加熱分解至白煙冒盡，再加入高氯酸2ml，繼續加熱冒煙至近干，取下稍冷，加......
測定礦石及原料中痕量釩鈦稱取0.5000g待測試樣，加人水和10mL濃HCl,5mLHF，低溫加熱溶解、然后加人10ml濃硝酸，再加熱后，加高氯酸5ml，加熱冒煙成濕鹽狀。再加人水和濃HCl各5mL.......
測定黑色石材全組分元素精確稱取黑色石材樣品0.1g（準確至0.000lg），偏硼酸鋰0.4g置石墨柑坩堝中（樣品夾裹在偏硼酸鋰中），再將石墨坩堝放人高溫爐中，直至生成一種清亮熔珠后取出，待熔體冷卻至室......
測定地質樣品中微量鋯、鉿稱取0.5g樣品于鉑坩堝中，加入2g過氧化鈉，攪勻，上面再賈蓋一層過氧化鈉和1g氫氧化鈉。將坩堝置于已升溫至520士10℃的馬弗爐中熔融15-20min。取出坩堝，冷卻，放人2......
準確稱取0.2500g試樣于銀坩堝中，加人2g粒狀NaOH和樣品棍勻。于500℃放入馬弗爐中，700℃熔融3-5min（有些難熔樣品，可加人少量Na2O2，同時適當延長熔礦時間），取出稍冷，將銀坩堝放......