指標信息： 主真空室：1×10-10 Torr XPS：0.5eV, AES: 分辨率：0.4%, 電子槍束斑：75nm , 靈敏度：1Mcps信噪比：大于70:1 角分辨：5°～90°. A1/Mg雙陽極靶 能量分辨率：0.5eV ,靈敏度：255KCPS, 使用多通道檢測器（MCD）
