1，用途不同。XRD是x射線衍射光譜，（X－ray diffraction analysis)是用于測定晶體的結構的，而XRF是x射線熒光發射譜，（X－ray fluorescence analysis)主要用于元素的定性、定量分析的，一般測定原子序數小于Na的元素，定量測定的濃度范圍是常量、微量、痕量。
2，原理上的差別：XRD是以X射線的相干散射為基礎，以布拉格公式2d sinθ=nλ、晶體理論、倒易點陣厄瓦爾德圖解為主要原理的；
XRF則是以莫斯萊定律(1/λ)1/2=k(Z-S)，k,S是與線性有關的常數。因此，得出不同元素具有不同的X射線（即特征線）為基礎對元素定性、定量分析的。