事關半導體材料！兩款國產設備順利交付

　　記者2月4日從中電科電子裝備集團有限公司（以下簡稱電科裝備）獲悉，近日，由電科裝備下屬北京中電科公司自主研制的國內首臺套12英寸碳化硅晶錠減薄設備、襯底減薄設備成功發貨，順利交付行業龍頭企業，標志著國產設備在大尺寸碳化硅加工領域實現新突破，為大尺寸襯底產能升級提供重要裝備保障。

　　此次推出的兩款設備分別針對晶錠和襯底減薄的不同工藝難點，實現了關鍵技術突破：晶錠減薄機創新采用自動化抓取與吸附雙模式搬送系統，可確保大尺寸晶錠的穩定高效傳輸，大幅縮短加工周期，適配規模化量產需求；襯底減薄機則集成自主研發的超精密空氣主軸與氣浮承片臺等關鍵軸系，可將晶圓片內厚度偏差穩定控制在1微米以內，攻克了均勻性控制難題，達到國際先進水平。

　　此外，兩款設備均為全自動設備，滿足大尺寸產線無人化、智能化生產需要，搭配電科裝備自研的激光剝離設備，在減薄和剝離工藝高效協同下，可將材料損耗降低30%以上，在進一步保障加工品質一致性的同時，提升產線量產能力、強化成本控制。

　　后續，電科裝備將著力突破大尺寸碳化硅加工裝備系列化研發與規模化應用的關鍵瓶頸，助力我國第三代半導體產業鏈向高端躍升。