表面分析（一）

表面分析是對固體表面或界面上只有幾個原子層厚的薄層進行組分、結構和能態等分析的材料物理試驗。也是一種利用分析手段，揭示材料及其制品的表面形貌、成分、結構或狀態的技術。

• 中文名：表面分析

• 外文名：surface analysis

• 分析內容：表面化學組成、表面原子態等

• 方  法：離子探針、AES、XPS等

• 特  點：分析靈敏度高（原子層次）

• 應  用: 材料性能研究

表面分析概況

自20世紀60年代中期金屬型超高真空系統和高效率微弱信號電子檢測系統的發展，導致70年代初現代表面分析儀器商品化以來，至今已產生了約50種表面分析技術。表面分析技術發展的動力來自兩個方面，一方面是由于表面分析對了解表面性能至關重要，而表面性能又日益成為現代材料的至關重要的指標。另一方面，也來自科學家和工程師對探索未知的追求。從實用表面分析的角度看，在眾多的表面分析技術中，有四種技術在過去的十幾年內由世界上幾家公司不斷改進，巳發展為成熟的分析工具。它們是俄歇電子譜（AES），X射線光電子譜（XPS），二次離子質譜（SIMS）和離子散射譜（ISS），它們已應用滲透到材料研究的許多領域。